氦质谱检漏设备由真空系统（前级泵+分子泵组合）、检测系统（阀门、内置漏孔、氦质谱室）以及电路系统（主板、电源板、分子泵驱动板、通信板等）组成，用惰性气体氦作为示宗气体。氦气具备分子量小、比较活跃，在空气中的含量小（5PPM）、无毒无害等特点。
检测方法：
将锂电池放入腔体中，通过真空法，即将氦气充入与检漏仪相连的真空腔体内（负压喷氦法）来检测被检电池的漏液量。
产品特点：
Ø 灵敏度高
Ø 可检精度高
Ø 可靠性强
Ø 安全性高
Ø 成本相对适中
Ø 人机界面友好
